二、主要参数

1、炉型结构：卧式，单室，炉体炉门采用双层水冷，前开门结构。由炉体、加热室、真空系统、充气系统、水冷系统、电控及供电系统组成。

2、极限温度：1600℃

3、工作区尺寸：600*400*400mm（L*W*H）

4、设备总功率：150KW

5、电源频率：50Hz

6、电源电压：三相 380 V（±10V）

7、外形尺寸：约宽2600mm*深2300mm*高2400mm。

8、占地面积：约15 m2   

三、加热系统

1、加热区尺寸：700×680mm（L×ø）

2、加热功率：138KW

3、加热元件：高温钼片

4、隔热组件：高温钼+不锈钢

5、温度测量：B型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉）

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用优质99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30段升温曲线，存贮20组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

四、真空系统

1、真空配置： 两台复合分子泵FB-1600和一台旋片机械泵BSV-60

2、极限真空：≤6.67*10-4Pa（空载、冷态、经净化）；

3、工作真空：≤6.67*10-3Pa

4、真空测量： 复合真空计ZDF5227

测量范围 1.0*105~1.0*10-5Pa

5、真空机组功率：5KW

6、优点：效率高、无污染、低能耗、低噪音。

五、气路系统

降温气氛：高纯氩气。充气压力≤10KPa。手动球阀、电磁阀、防爆阀、316L不锈钢管路、压力变送器、电接点压力表、浮子流量计组成。充气压力到达压力上限设定点可自动停止充气，超压时可自动排压，当低于压力下限设定点又可自动补气。带有一路手动，用于充气保护。

六、水冷系统：

真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。

七、安全系统：

安全系统包括：停水、超温、加热过流、旋片泵、分子泵，设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。